第1章 緒論 1
1．1 傳感器的概念 1
1．1．1 傳感器的基本組成 1
1．1．2 傳感器的定義 2
1．2 傳感器的分類 2
1．3 傳感器的基本特性 3
1．3．1 傳感器的靜態(tài)特性 4
1．3．2 傳感器的動態(tài)特性相關(guān)的數(shù)學(xué)
模型 11
1．3．3 傳感器的動態(tài)特性描述 15
1．4 傳感器的標(biāo)定 20
1．4．1 傳感器的靜態(tài)特性標(biāo)定 21
1．4．2 傳感器的動態(tài)標(biāo)定 21
1．5 傳感器技術(shù)發(fā)展方向 23
習(xí)題 25
第2章 傳感器的功能材料及加工工藝 27
2．1 傳感器使用的材料 27
2．1．1 導(dǎo)體、半導(dǎo)體和電介質(zhì) 28
2．1．2 有機(jī)高分子敏感材料 30
2．1．3 磁性材料 30
2．2 傳感器的加工工藝 31
2．2．1 結(jié)構(gòu)型傳感器的加工工藝 31
2．2．2 微機(jī)械加工工藝 32
習(xí)題 40
第3章 溫敏傳感器 41
3．1 熱學(xué)相關(guān)基本概念 41
3．1．1 溫標(biāo) 41
3．1．2 熱力學(xué)相關(guān)概念 41
3．1．3 溫敏傳感器的分類 42
3．2 熱電偶傳感器 42
3．2．1 熱電效應(yīng) 42
3．2．2 熱電偶基本定律 44
3．2．3 熱電偶的結(jié)構(gòu) 45
3．2．4 熱電偶冷端溫度誤差及其補(bǔ)償 46
3．2．5 熱電偶實用測量電路 49
3．2．6 熱電偶傳感器應(yīng)用實例 50
3．3 電阻型溫度傳感器 52
3．3．1 熱電阻 52
3．3．2 熱敏電阻 55
3．3．3 陶瓷半導(dǎo)體熱敏電阻 57
3．3．4 半導(dǎo)體熱電阻溫度傳感器 61
3．3．5 熱敏電阻溫度傳感器的典型
應(yīng)用 63
3．4 半導(dǎo)體PN結(jié)型溫度傳感器 64
3．4．1 溫敏二極管 64
3．4．2 溫敏晶閘管（可控硅） 66
3．4．3 溫敏三極管 68
3．4．4 半導(dǎo)體PN結(jié)型溫度傳感器典型
應(yīng)用 70
習(xí)題 71
第4章 力敏傳感器 73
4．1 應(yīng)變式電阻傳感器 73
4．1．1 電阻應(yīng)變片的種類 73
4．1．2 金屬電阻應(yīng)變片 73
4．1．3 半導(dǎo)體應(yīng)變片 78
4．1．4 電阻應(yīng)變片的測量電路 79
4．1．5 電阻應(yīng)變式傳感器應(yīng)用 83
4．2 壓電式力傳感器 88
4．2．1 壓電效應(yīng)和壓電材料 88
4．2．2 壓電傳感器的等效電路與測量
線路 91
4．2．3 壓電式傳感器的應(yīng)用舉例 95
4．2．4 壓電式傳感器的主要性能及其
影響因素 97
4．3 電容力傳感器 99
4．3．1 電容式傳感器特點 99
4．3．2 電容式壓力傳感器 100
4．4 電感式壓力傳感器 102
4．5 諧振式壓力傳感器 104
4．5．1 工作原理和特性 104
4．5．2 諧振式壓力傳感器的特性 104
4．5．3 諧振式壓力傳感器的類型 106
4．6 光纖力學(xué)傳感器 108
4．7 其他新型傳感器 110
習(xí)題 112
第5章 磁敏傳感器 113
5．1 概述 113
5．2 霍爾元件 114
5．2．1 霍爾效應(yīng) 115
5．2．2 影響霍爾效應(yīng)的因素 116
5．2．3 霍爾元件基本結(jié)構(gòu) 117
5．2．4 霍爾元件的基本特性 117
5．2．5 霍爾元件的電磁特性 118
5．2．6 霍爾元件不等位電勢補(bǔ)償 120
5．2．7 霍爾元件溫度補(bǔ)償 120
5．2．8 霍爾式傳感器的應(yīng)用 123
5．3 半導(dǎo)體磁阻器件 124
5．3．1 磁阻效應(yīng) 124
5．3．2 磁阻元件 126
5．3．3 磁敏電阻的應(yīng)用 127
5．4 結(jié)型磁敏器件 128
5．4．1 磁敏二極管 128
5．4．2 磁敏三極管 132
5．5 鐵磁性金屬薄膜磁阻元件 136
5．5．1 鐵磁體中的磁阻效應(yīng) 136
5．5．2 鐵磁薄膜磁敏電阻的結(jié)構(gòu)與
工作原理 136
5．5．3 鐵磁薄膜磁敏電阻的技術(shù)性能
及特點 136
5．6 壓磁式傳感器 137
5．6．1 壓磁式傳感器的基本原理 137
5．6．2 壓磁式傳感器的主要特性 138
5．6．3 壓磁式傳感器的應(yīng)用舉例 139
5．7 新型磁敏傳感器 139
5．7．1 MOS磁敏器件 139
5．7．2 高分辨率磁性旋轉(zhuǎn)編碼器 140
5．7．3 渦流傳感器 141
5．7．4 韋根德磁敏器件 141
5．7．5 磁通門傳感器 142
習(xí)題 143
第6章 光敏傳感器 144
6．1 概述 144
6．1．1 光譜 144
6．1．2 光學(xué)傳感器的相關(guān)計量單位 145
6．1．3 光源 146
6．2 光電效應(yīng)傳感器 148
6．2．1 外光電效應(yīng)及器件 148
6．2．2 內(nèi)光電效應(yīng)（光電導(dǎo)）及器件 153
6．3 光生伏特效應(yīng)器件 157
6．3．1 光生伏特效應(yīng) 157
6．3．2 光電池 158
6．4 光敏二極管 159
6．4．1 結(jié)構(gòu)原理 159
6．4．2 光電二極管應(yīng)用實例 161
6．5 光敏晶體管 162
6．5．1 光敏晶體管和光敏二極管基本
特性 163
6．5．2 光敏三極管應(yīng)用實例 164
6．6 色敏光電傳感器 165
6．6．1 雙結(jié)型色彩傳感器 165
6．6．2 非晶態(tài)集成色彩傳感器 165
6．6．3 應(yīng)用實例 166
6．7 光電耦合器件 167
6．7．1 光電耦合器 167
6．7．2 光電開關(guān) 167
6．8 紅外熱釋電光敏器件 168
6．8．1 紅外熱釋電光敏效應(yīng) 168
6．8．2 熱釋電傳感器的結(jié)構(gòu) 169
6．8．3 熱釋電紅外傳感器的應(yīng)用 170
6．9 固態(tài)圖像傳感器 173
6．9．1 CCD圖像傳感器 173
6．9．2 MOS固態(tài)圖像傳感器 176
6．9．3 CCD與CMOS圖像傳感器的
性能比較 178
6．10 光纖傳感器 179
6．10．1 概述 179
6．10．2 光纖的結(jié)構(gòu)和傳輸原理 180
6．10．3 光纖傳感器 181
習(xí)題 185


第7章 聲敏傳感器 186
7．1 聲波的基本性質(zhì) 186
7．1．1 聲壓及其描述 186
7．1．2 聲功率和聲強(qiáng) 187
7．1．3 聲波的反射、折射、透射和
吸收 188
7．2 聲敏傳感器 190
7．2．1 電阻變換型聲敏傳感器 190
7．2．2 壓電聲敏傳感器 191
7．2．3 電容式聲敏傳感器（靜電型） 191
7．2．4 音響傳感器 192
7．3 水聲傳感器 194
7．3．1 水聲傳感器的性能指標(biāo) 194
7．3．2 水聲傳感器用郎之萬型換能器 196
7．3．3 海底地貌儀 197
7．3．4 多普勒計程儀 198
7．3．5 相關(guān)計程儀 198
7．4 超聲波傳感器 199
7．4．1 超聲波及其物理性質(zhì) 199
7．4．2 超聲波對超聲場產(chǎn)生的作用
（效應(yīng)） 200
7．4．3 超聲波傳感器 201
7．4．4 超聲波傳感器的應(yīng)用 201
7．5 聲表面波傳感器 204
7．5．1 表面聲波的類型 205
7．5．2 SAW傳感器的結(jié)構(gòu)與工作
原理 209
7．5．3 高分辨率SAW溫度傳感器 210
7．5．4 SAW氣敏傳感器 211
7．5．5 SAW壓力傳感器 212
7．5．6 聲板波傳感器 213
習(xí)題 215
第8章 氣敏傳感器 216
8．1 概述 216
8．2 氣敏傳感器的主要參數(shù)與特性 216
8．3 半導(dǎo)體氣敏傳感器 218
8．3．1 電阻型半導(dǎo)體氣敏元件 218
8．3．2 半導(dǎo)體氣敏二極管和MOSFET
氣敏傳感器 228
8．4 固態(tài)電解質(zhì)氣敏傳感器 232
8．5 接觸燃燒式氣敏傳感器 234
8．5．1 檢測原理與結(jié)構(gòu) 234
8．5．2 氣敏特性 235
8．6 新型氣敏傳感器 236
8．6．1 紅外吸收式傳感器 236
8．6．2 熱導(dǎo)率變化式氣敏傳感器 236
8．6．3 氣敏半導(dǎo)體材料吸附機(jī)制及
器件 236
8．6．4 氣-磁傳感器 237
8．7 氣敏傳感器的應(yīng)用 238
8．7．1 家用煤氣、液化石油氣泄漏
報警器 238
8．7．2 自動換氣扇 238
8．7．3 自動抽油煙機(jī) 239
8．7．4 酒精檢測報警器 239
8．7．5 缺氧檢測 240
習(xí)題 241
第9章 濕敏傳感器 242
9．1 濕度的基本概念 242
9．1．1 相對濕度和絕對濕度 242
9．1．2 露點 242
9．2 濕度傳感器的特性參數(shù) 243
9．3 濕度傳感器的分類 246
9．4 陶瓷式濕度傳感器 246
9．4．1 陶瓷電阻式濕度傳感器 246
9．4．2 陶瓷電容式濕度傳感器 248
9．5 有機(jī)物及高分子聚合物濕度
傳感器 249
9．5．1 高分子電阻式濕度傳感器 249
9．5．2 高分子電容式濕度傳感器 251
9．6 半導(dǎo)體結(jié)型和MOS型濕度
傳感器 253
9．6．1 濕敏二極管 254
9．6．2 濕敏MOS場效應(yīng)管 254
9．7 固體電解質(zhì)界限電流式高溫濕度
傳感器 255
9．7．1 固體電解質(zhì)界限電流式濕度
傳感器的結(jié)構(gòu)與工作原理 255
9．7．2 固體電解質(zhì)界限電流式濕度
傳感器的特性 256
9．8 溶性電解質(zhì)濕度傳感器 257
習(xí)題 259
第10章 生物傳感器 260
10．1 生物傳感器的基本概念 260
10．2 生物傳感器的特點 261
10．3 生物反應(yīng)基本知識 261
10．3．1 酶反應(yīng) 261
10．3．2 微生物反應(yīng) 263
10．3．3 免疫學(xué)反應(yīng) 264
10．3．4 生物傳感器膜技術(shù)和固定化
技術(shù) 265
10．3．5 基本電極 268
10．3．6 測量方式 268
10．4 生物傳感器的工作原理及類型 269
10．4．1 酶傳感器及其應(yīng)用 269
10．4．2 微生物傳感器及其應(yīng)用 270
10．4．3 免疫傳感器及其應(yīng)用 270
10．4．4 半導(dǎo)體生物傳感器及其應(yīng)用 271
10．4．5 組織傳感器 271
10．4．6 細(xì)胞傳感器 273
10．4．7 基因芯片 274
習(xí)題 275
第11章 傳感器的信號處理 276
11．1 信號測量電路 276
11．1．1 橋電路 276
11．1．2 電阻測量 285
11．1．3 電感測量 286
11．1．4 電容測量及電容檢測電路 287
11．2 信號變換電路 295
11．2．1 電壓―電流變換 296
11．2．2 電流―電壓變換 299
11．3 阻抗匹配/信號放大電路 301
11．3．1 晶體管阻抗匹配器 301
11．3．2 場效應(yīng)管阻抗匹配器 302
11．3．3 運(yùn)算放大器阻抗匹配/信號
放大電路 303
11．4 信號分離/濾波電路 306
11．4．1 濾波器的基本知識 306
11．4．2 按頻帶分類的濾波器 308
11．4．3 按逼近方式分類的濾波器 312
11．4．4 按電路組成濾波器 312
習(xí)題 314
第12章 傳感器的智能化和網(wǎng)絡(luò)化 315
12．1 智能傳感器 315
12．1．1 智能傳感器的結(jié)構(gòu) 315
12．1．2 智能傳感器的功能 315
12．2 智能傳感器的網(wǎng)絡(luò)化 317
12．2．1 現(xiàn)場總線智能傳感器 317
12．2．2 基于TCP/IP協(xié)議的網(wǎng)絡(luò)化
智能傳感器 320
12．3 無線傳感器網(wǎng)絡(luò)的概述 321
12．3．1 無線傳感器網(wǎng)絡(luò)的基本概念 321
12．3．2 無線傳感器網(wǎng)絡(luò)的特征 322
12．3．3 無線傳感器網(wǎng)絡(luò)的發(fā)展 324
12．3．4 無線傳感器網(wǎng)絡(luò)的應(yīng)用 325
12．3．5 無線傳感器網(wǎng)絡(luò)所面臨的
挑戰(zhàn) 326
12．3．6 無線傳感器網(wǎng)絡(luò)體系結(jié)構(gòu) 327
12．3．7 無線傳感器網(wǎng)絡(luò)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu) 327
12．3．8 無線傳感器網(wǎng)絡(luò)體系結(jié)構(gòu)的
設(shè)計要求 329
12．3．9 無線傳感器網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵技術(shù) 332
習(xí)題 338
參考文獻(xiàn) 339