針對(duì)微傳感器技術(shù)發(fā)展速度快，一些理論、方法及實(shí)現(xiàn)技術(shù)尚未成熟的特點(diǎn)，本書(shū)緊密結(jié)合微傳感器的最新發(fā)展動(dòng)態(tài)，對(duì)熱、輻射、機(jī)械、磁、化學(xué)量微傳感器的基本理論及實(shí)現(xiàn)技術(shù)進(jìn)行分類(lèi)闡述，同時(shí)介紹了微傳感器系統(tǒng)及其數(shù)據(jù)獲取與處理方面的知識(shí)，旨在為讀者提供一本微傳感器方面的入門(mén)讀物。幫助讀者在掌握微傳感器基礎(chǔ)知識(shí)的同時(shí)，建立微傳感器設(shè)計(jì)、研究、制作及實(shí)驗(yàn)分析等方面的基本概念。做到面對(duì)具體的微傳感器問(wèn)題時(shí)，能查到專(zhuān)業(yè)文獻(xiàn)、能讀懂文獻(xiàn)內(nèi)容、能自行設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)、能對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析總結(jié)。同時(shí)順應(yīng)微傳感器發(fā)展潮流，引入更多微機(jī)電系統(tǒng)的新興應(yīng)用，讓讀者對(duì)微傳感器有一個(gè)更全面的認(rèn)識(shí)。
本書(shū)所涉及的微傳感器，是指那些至少有一個(gè)物理尺寸在亞毫米量級(jí)的傳感器。全書(shū)共分10章： 引言、微傳感器與信號(hào)、微傳感器的常用材料及加工工藝、熱學(xué)量微傳感器、輻射量微傳感器、機(jī)械量微傳感器、磁微傳感器、化學(xué)量微傳感器常用技術(shù)、化學(xué)量微傳感器、微傳感器的數(shù)據(jù)獲取。
本書(shū)可供高等工科院校微機(jī)電系統(tǒng)、測(cè)控技術(shù)與儀器、自動(dòng)化工程、機(jī)電一體化及儀器儀表等專(zhuān)業(yè)師生使用，也可供從事儀器相關(guān)專(zhuān)業(yè)的研究、設(shè)計(jì)、制造、使用的工程技術(shù)人員學(xué)習(xí)和參考。