第1章 緒論
1.1 硬質(zhì)薄膜及其發(fā)展歷程
1.1.1 普通硬質(zhì)薄膜
1.1.2 內(nèi)稟性超硬薄膜
1.1.3 外稟性硬質(zhì)薄膜
1.2 硬質(zhì)薄膜的研究熱點(diǎn)及問題
1.2.1 硬質(zhì)薄膜制備
1.2.2 硬質(zhì)薄膜組元微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與其強(qiáng)化機(jī)制
1.2.3 高性能硬質(zhì)薄膜
1.2.4 高性能靶材
1.3 硬質(zhì)薄膜的制備技術(shù)
1.3.1 化學(xué)氣相沉積
1.3.2 物理氣相沉積
1.4 硬質(zhì)薄膜的表征方法
1.4.1 薄膜的顯微結(jié)構(gòu)
1.4.2 薄膜的硬度
1.4.3 薄膜的摩擦磨損性能
1.4.4 薄膜的結(jié)合強(qiáng)度
1.4.5 薄膜的殘余應(yīng)力
1.5 WB2、W-B-N(C)硬質(zhì)薄膜
1.5.1 WB2相的研究現(xiàn)狀
1.5.2 W-B-N(C)硬質(zhì)薄膜的研究現(xiàn)狀
1.5.3 AlB2-type WB2、W-B-N(C)硬質(zhì)薄膜的研究內(nèi)容
第2章 AlB2-type WB2超硬薄膜的制備及表征
2.1 實(shí)驗(yàn)材料與方法
2.1.1 靶材與基體
2.1.2 磁控濺射設(shè)備
2.1.3 薄膜制備
2.1.4 薄膜的表征方法
2.2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與討論
2.2.1 薄膜形貌
2.2.2 薄膜成分及化學(xué)鍵狀態(tài)
2.2.3 薄膜相結(jié)構(gòu)
2.2.4 薄膜顯微結(jié)構(gòu)
2.2.5 薄膜硬度和彈性模量
2.2.6 薄膜結(jié)合強(qiáng)度
2.2.7 薄膜摩擦磨損性能
2.3 小結(jié)
第3章 AlB2-type WB2薄膜的工藝參數(shù)優(yōu)化
3.1 實(shí)驗(yàn)材料與方法
3.1.1 靶材與基體
3.1.2 AlB2-type WB2薄膜的制備
3.1.3 AlB2-type WB2薄膜的表征方法
3.2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與討論
3.2.1 基片偏壓對AlB2-type WB2薄膜結(jié)構(gòu)及性能的影響
3.2.2 基片溫度對AlB2-type WB2薄膜結(jié)構(gòu)及性能的影響
3.2.3 工作壓強(qiáng)對AlB2-type WB2薄膜結(jié)構(gòu)及性能的影響
3.2.4 靶功率對AlB2-type WB2薄膜結(jié)構(gòu)及性能的影響
3.3 小結(jié)
第4章 W-B-N復(fù)合薄膜的制備及表征
4.1 實(shí)驗(yàn)材料與方法
4.1.1 W-B-N薄膜的制備
4.1.2 W-B-N薄膜的表征方法
4.2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與討論
4.2.1 W-B-N薄膜成分及結(jié)構(gòu)
4.2.2 W-B-N薄膜殘余應(yīng)力
4.2.3 W-B-N薄膜力學(xué)及摩擦磨損性能
4.2.4 W-B-N薄膜抗腐蝕性能
4.2.5 W-B-N薄膜熱穩(wěn)定性
4.3 小結(jié)
第5章 W-B-C復(fù)合薄膜的制備及表征
5.1 實(shí)驗(yàn)材料與方法
5.1.1 W-B-C薄膜的制備
5.1.2 W-B-C薄膜的表征方法
5.2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與討論
5.2.1 W-B-C薄膜成分及結(jié)構(gòu)
5.2.2 W-B-C薄膜殘余應(yīng)力
5.2.3 W-B-C薄膜力學(xué)及摩擦磨損性能
5.2.4 W-B-C薄膜熱穩(wěn)定性
5.3 小結(jié)
參考文獻(xiàn)