本書首先介紹MEMS光纖聲壓傳感器的結(jié)構(gòu)特征、發(fā)展歷程和應(yīng)用前景；其次根據(jù)MEMS光纖聲壓傳感器的工作原理，分別從光學(xué)和力學(xué)兩個角度進(jìn)行詳細(xì)的介紹與分析；然后從制作角度介紹傳感器的膜片加工和結(jié)構(gòu)封裝；最后對傳感器的性能進(jìn)行詳細(xì)的測試。

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