針對大尺寸鉬靶材制備難度大、致密度和晶粒尺寸的均勻性難以控制等技術(shù)難點(diǎn)，本書從鉬粉的制備和靶材的熱加工工藝入手，研究了原材料及還原工藝對鉬粉性能的影響和燒結(jié)鉬的熱變形行為，分析了變形溫度、應(yīng)變速率、變形量等對其動態(tài)再結(jié)晶和靜態(tài)再結(jié)晶的影響，確定了鉬靶材的制備工藝，實(shí)現(xiàn)了鉬靶材的微觀組織調(diào)控。本書還研究了鉬靶材的原始組織狀態(tài)、單層鉬薄膜的熱處理、雙層鉬薄膜的結(jié)構(gòu)調(diào)控和工藝優(yōu)化，探究其對金屬鉬薄膜結(jié)構(gòu)和光電性能的影響，從而制備出具有良好光電性能和高黏結(jié)性能的鉬薄膜。

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