RF MEMS（射頻微機電系統(tǒng)）是MEMS（Micro Electromechanical System,微機電系統(tǒng)）技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域之一。本書內(nèi)容覆蓋了RF MEMS的理論、設(shè)計和大部分RF MEMS器件，RF MEMS技術(shù)可望實現(xiàn)和MMIC的高度集成，使制作集信息的采集、處理、傳輸、處理和執(zhí)行于一體的系統(tǒng)集成芯片（SOC）成為可能。本書適合高等院校微電子技術(shù)、微波技術(shù)、集成電路專業(yè)、電子科學(xué)與技術(shù)、電子信息專業(yè)、微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)領(lǐng)域的高年級本科生、研究生及工程技術(shù)人員閱讀使用。