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微細加工技術(shù)

微細加工技術(shù)

定  價:69 元

叢書名:高等院校機械類專業(yè)"互聯(lián)網(wǎng)+"創(chuàng)新規(guī)劃教材

        

  • 作者:劉志東 編著
  • 出版時間:2024/1/1
  • ISBN:9787301346365
  • 出 版 社:北京大學出版社
  • 中圖法分類:TG66 
  • 頁碼:260
  • 紙張:
  • 版次:1
  • 開本:16開
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讀者對象:教師、學生

本書介紹了機械加工中廣義的微細加工技術(shù),以及狹義的微細加工技術(shù)在集成電路及硅太陽能電池制造領(lǐng)域的應(yīng)用,使讀者能夠準確地理解和掌握微細加工技術(shù)的基礎(chǔ)知識和常用微細加工的方法、基本原理及應(yīng)用。全書共6章,包括緒論、微細切削加工技術(shù)、微細特種加工技術(shù)、硅材料的制備及加工、集成電路制造技術(shù)和硅太陽能電池制造。 本書采用雙色印刷,各種微細加工方法均有對應(yīng)視頻展示其原理及實際應(yīng)用,120余段視頻配以對應(yīng)的二維碼,讀者只需利用移動設(shè)備掃描對應(yīng)知識點的二維碼即可在線觀看。為方便教師授課,本書配套附有主要視頻內(nèi)容的教學參考課件。 本書適合作為高等工科院校機械類專業(yè)研究生、本科生及高職院校相關(guān)專業(yè)學生的“微細加工技術(shù)”“半導(dǎo)體加工技術(shù)”“微細特種加工技術(shù)”等課程的教材或輔助教材,也可以作為相關(guān)領(lǐng)域工程技術(shù)人員了解微細加工技術(shù)的參考書。
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