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硅集成電路工藝基礎(chǔ)(第二版)

硅集成電路工藝基礎(chǔ)(第二版)

定  價(jià):52 元

叢書名:21世紀(jì)微電子學(xué)專業(yè)規(guī)劃教材

        

  • 作者:關(guān)旭東
  • 出版時間:2014/5/1
  • ISBN:9787301241097
  • 出 版 社:北京大學(xué)出版社
  • 中圖法分類:TN4 
  • 頁碼:408
  • 紙張:膠版紙
  • 版次:2
  • 開本:16K
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   本書是《硅集成電路工藝基礎(chǔ)》的第二版教材,作者在第一版的基礎(chǔ)上系統(tǒng)的講述了硅集成電路制造的基礎(chǔ)工藝,加深了工藝物理基礎(chǔ)和基本原理的介紹。增加了工藝集成例子的介紹。
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