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蒸發(fā)及外延法晶體生長技術-晶體生長手冊-第4冊-(影印版)

蒸發(fā)及外延法晶體生長技術-晶體生長手冊-第4冊-(影印版)

定  價:88 元

        

  • 作者:(美)德哈納拉 等主編
  • 出版時間:2013/1/1
  • ISBN:9787560338699
  • 出 版 社:哈工大
  • 中圖法分類:O78-62 
  • 頁碼:417
  • 紙張:
  • 版次:1
  • 開本:16開
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《Springer手冊精選系列·晶體生長手冊(第4冊):蒸發(fā)及外延法晶體生長技術(影印版)》的主題是氣相生長。這一部分提供了碳化硅、氮化鎵、氮化鋁和有機半導體的氣相生長的內(nèi)容。隨后的PartE是關于外延生長和薄膜的,主要包括從液相的化學氣相淀積到脈沖激光和脈沖電子淀積。
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