阮勇、尤政編著的《硅MEMS工藝與設(shè)備基礎(chǔ)/MEMS與微系統(tǒng)系列/微米納米技術(shù)叢書》在第1章首先介紹MEMS器件的硅MEMS基本工藝、器件和新材料，在此基礎(chǔ)上，第2章闡述MEMS工藝設(shè)計(jì)規(guī)則與工藝誤差，第3章至第8章闡述硅MEMS單項(xiàng)工藝，介紹相關(guān)工藝原理與典型設(shè)備，第9章分析列舉了典型的硅MEMS器件結(jié)構(gòu)的工藝制備，第10章和第11章介紹圓片鍵合和封裝技術(shù)，第12章圍繞工藝中的參數(shù)討論了檢測技術(shù)，附錄部分對于真空技術(shù)、相關(guān)藥品與安全防護(hù)進(jìn)行總結(jié)。本書詳細(xì)介紹了硅MEMS器件所需的工藝與設(shè)備，能

《微特電機(jī)》系統(tǒng)地介紹了各種微特電機(jī)運(yùn)行原理、性能特點(diǎn)和設(shè)計(jì)方法等內(nèi)容。全書共分三篇：上篇介紹通用基礎(chǔ)理論，分別從電磁理論基礎(chǔ)、磁路分析與永磁磁路、交流繞組基礎(chǔ)、損耗與發(fā)熱、振動(dòng)、噪聲與電磁兼容、電機(jī)常用分析方法等方面進(jìn)行詳細(xì)講述；中篇介紹伺服與控制電機(jī)，從電氣伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的共性問題出發(fā)，主要講述了永磁直流電動(dòng)機(jī)、永磁交流伺服電動(dòng)機(jī)、感應(yīng)伺服電動(dòng)機(jī)、開關(guān)磁阻電機(jī)、步進(jìn)電動(dòng)機(jī)和傳感器等；下篇介紹驅(qū)動(dòng)與特種電機(jī)，主要講述同步電機(jī)、單相電機(jī)、交直流兩用電動(dòng)機(jī)、直線電機(jī)、磁滯電動(dòng)機(jī)、超聲波電機(jī)等。本書內(nèi)