激光熱敏光刻具有以下特點(diǎn): 1) 寬波段光刻, 這類光刻膠的吸收光譜一般都覆蓋從近紅外到極紫外的整個(gè)光刻曝光的波段, 可以稱之為寬波段光刻膠; 2) 突破衍射極限的光刻, 光刻特征尺寸不再受制于光學(xué)衍射極限, 而是取決于熱致結(jié)構(gòu)變化區(qū)域的尺寸; 3) 跨尺度光刻, 光刻中激光光斑的強(qiáng)度一般呈高斯分布, 光斑中心的溫度高, 沿四周擴(kuò)散并逐漸降低, 通過調(diào)控?zé)釘U(kuò)散通道和曝光策略, 能實(shí)現(xiàn)跨尺度光刻; 4) 亞納米甚至原子級別的圖形分辨率, 熱敏光刻膠一般是無機(jī)非金屬薄膜, 其基本的組成單元是原子, 這也決定了熱敏光刻的圖形結(jié)構(gòu)的分辨率和邊緣粗糙度能達(dá)到亞納米甚至原子級別; 5) 光刻工藝流程大為簡化, 熱敏光刻膠采用無機(jī)非金屬薄膜材料, 沒有交聯(lián)劑和光酸劑等中間物質(zhì), 光刻不需要固化、前烘和后烘等處理, 光刻過程也不會產(chǎn)生氣泡等負(fù)產(chǎn)物, 光刻流程只有涂膠、曝光、刻蝕、清洗, 因此光刻工藝大為簡化。