本著作主要基于柔性鉸鏈設(shè)計, 采用壓電陶瓷驅(qū)動 (PZT) 作為驅(qū)動元件, 設(shè)計一種可微移動的柔性機械手, 包括微夾持機構(gòu)和微納定位平臺, 主要應(yīng)用于微納加工和生物微操作中。本著作共分為六章: 第一章主要是介紹了研究意義和現(xiàn)狀等。第二章提出了壓電驅(qū)動柔性機構(gòu)的設(shè)計過程, 包括新型二自由度微夾持器、新型壓電驅(qū)動緊密型微夾持器、帶有位移放大器的二自由度微納定位平臺和三自由度平移納米微操作平臺。第三章重點對機構(gòu)進行了建模和分析, 包括基于柔度矩陣和偽剛體模型方法, 得出機構(gòu)放大比和剛度模型。優(yōu)化算法對機構(gòu)的結(jié)構(gòu)參數(shù)和性能進行了參數(shù)優(yōu)化。第四章介紹了壓電驅(qū)動柔性機構(gòu)遲滯建模與補償?shù)囊幌盗蟹椒ā５谖逭聦θ嵝詸C構(gòu)非線性系統(tǒng)的進行了實驗研究。展開了一系列開環(huán)和閉環(huán)跟蹤控制實驗, 以評價所研制系統(tǒng)的跟蹤性能和抓取目標(biāo)的能力。最后, 第六章總結(jié)了研究期間的成果, 并對今后的工作進行了展望。